CZ   EN   RU
Foto

31450_C1 Chemický box pro hloubkové leptání Si desek

Zařízení je určeno pro práci v čistých prostorech v polovodičovém průmyslu a slouží k hloubkovému leptání křemíkových desek. Zásobník s 25 křemíkovými deskami umísťuje obsluha do nakládací pozice manipulátoru nad sušicí vanou. Po nastavení předvolené procesní receptury na grafickém displeji PLC dvouosý manipulátor automaticky zaveze zásobník s deskami do boxu ke zpracování ve dvou leptacích a dvou oplachových vanách v kaskádovém uspořádání. Po provedení předepsaných technologických operací dle vybrané receptury, je zásobník manipulátorem vyvezen zpět do nakládací pozice, ve které se desky vysuší horkým filtrovaným dusíkem . Ke zvýšení účinnosti procesu leptání, mytí a sušení je manipulátor vybaven možností rotace zásobníku. Leptací vany se směsí HF, HNO3, CH3COOH jsou vybaveny ohřevem, chlazením, kontrolou teploty, cirkulací a občerstvováním lázně třemi dávkovacími čerpadly.

Všechny tři součásti směsí jsou do zařízení dopravovány z centrálních rozvodů. Jednotlivé receptury mají velmi široké možnosti sestavování. Mimo výrobní procedury je možno sestavovat i procedury na kompletní údržbu a očistu zařízení PLC s grafickým dotykovým displejem zabezpečuje všechny řídicí, regulační a bezpečnostní funkce při provozu linky, ovládá všechny pneumatické a hydraulické prvky, napouštění a vypouštění procesních van a zásobníků, uzavírání bezpečnostních krytů, signalizuje provozní a poruchové stavy linky.

Zařízení je celoplastové, rozměry 4050 x 1391mm, výška 2480 mm.

(zařízení pracuje ve Švýcarsku pro švýcarského zákazníka)