CZ   EN   RU
Foto

31500_C1 Automatická linka na leptání křemíkových trubic

Zařízení je určeno pro práci v polovodičovém průmyslu k čištění a mytí Si trubic a jiných drobných dílů. Zajišťuje leptání trubic do průměru 300 mm a délce od 1450 do 2765 mm. Manipulátor zakládá trubici na otočné válce, následně systém v závislosti na vybrané předvolené receptuře zaplní vanu čisticí chemickou směsí nebo injektuje tuto směs dovnitř trubice. Po ukončení čistění je trubice omyta v tekoucí DI vodě a následně vysušena horkým dusíkem. Po celou dobu leptání, mytí a sušení trubice rotuje. Součástí zařízení jsou dva zásobníky na dvě různé leptací směsi, které jsou automaticky připravovány z DI vody, HNO3 a HF podle nastavené receptury.

Všechny tři součásti směsí jsou do zařízení dopravovány z centrálních rozvodů. Jednotlivé receptury mají velmi široké možnosti sestavování. Mimo výrobní procedury je možno sestavovat i procedury na kompletní údržbu a očistu zařízení PLC s grafickým dotykovým displejem zabezpečuje všechny řídicí, regulační a bezpečnostní funkce při provozu linky, ovládá všechny pneumatické a hydraulické prvky, napouštění a vypouštění procesních van a zásobníků, uzavírání bezpečnostních krytů, signalizuje provozní a poruchové stavy linky.

Zařízení je celoplastové, rozměry 4050 x 1391mm, výška 2480 mm.

(zařízení pracuje ve Švýcarsku pro švýcarského zákazníka)

KE STAŽENÍ:

PDF  31500_C1 Automatická linka na leptání křemíkových trubic