CZ   EN   RU
Foto

31700_C1 Mycí linka na mytí a sušení 8" křemíkových desek

Zařízení je určeno pro práci v polovodičovém průmyslu. Box je celonerezový a slouží mytí Si desek s průměrem 8", najednou až se 7 zásobníky. Desky ve standardním plastovém zásobníku, uložené ručně do zakládací pozice postupně procházejí 5 ultrazvukovými procesními a oplachovými vanami, následně do sušicí "vany" až do vykládací pozice. Procesní vany jsou plněny průtočnou DI vodou ohřátou až na 85 °C z ohřívače napojeného na přívod DI vody z rozvodu zákazníka a požadovanými chemikáliemi. Přesuny mezi vanami jsou plně automatizovány a všechny procesy probíhají dle vybrané nastavené receptury. Řízení servomanipulátoru a celého procesu zabezpečuje PLC s grafickým dotykovým displejem. Pro zlepšení čisticího efektu probíhá neustálý kývavý svislý pohyb zásobníků s amplitudou 30 mm ve všech vanách. Jednotlivé procesní vany jsou štěrbinově odsávány. V sušicí "vaně" probíhá intenzivní cirkulační sušení horkým vzduchem až 80 °C s filtrací HEPA filtrem.

(zařízení pracuje v Polsku pro dánského zákazníka)