CZ   EN   RU
Foto

41220_R13 Оборудование для травления кремниевых плит

Оборудование предназначено для регулируемого травления кромок кремниевых плит, используемых для производства высокопроизводительных полупроводниковых коммутационных блоков. Оборудование работает в чистых помещениях полупроводникового производства.

Камера для травления оснащена вращающейся зажимной втулкой с вакуумным креплением подложки. Здесь происходит травление кромок полупроводниковой плиты при помощи набора сопел. Оборудование подключено к центральным проводам HF, HNO3 и CH3COOH. Линия оснащена автоматическим манипулятором для вставки, разгрузки, измерения диаметра и центрирования полупроводниковой плиты - подложки в камеру травления.

В задней части оборудования находятся химические резервуары с эфирными смесями, пневматические и ручные клапаны для окончательного смешивания и транспортировки химических веществ в камеру травления.

(установка работает в Швейцарии для швейцарского заказчика)

СКАЧАТЬ:

PDF  41220_R13 Оборудование для травления кремниевых плит