CZ   EN   RU
Foto

49300_R13 Химическая линия для травления кремниевых пластин

Оборудование используется для автоматического травления и очистки небольших Si-пластин для исследовательских задач по различным химическим веществам процесса. Обслуживающий персонал готовит заряды травильных ванн и ставит корзины в размере 2“ с кремниевыми субстратами для захвата.

После запуска автоматического процесса пластины постепенно погружаются в травильных и промывочных ваннах и по окончании технологической рецептуры их можно сушить в сушилке с циркуляцией горячего воздуха. Обработка в рабочем пространстве линии обеспечивается встроенным портальным манипулятором.

(Oборудование работает в ЧР для чешского заказчика.)

СКАЧАТЬ:

PDF  49300_R13 Химическая линия для травления кремниевых пластин