CZ   EN   RU
Foto

31660_R13 Шкаф для струйного травления краев Si пластин

Оборудование служит к травлению краев кремниевых пластин, после-дующей мойке и сушке. Травление и промывка проводятся форсунками с регулируемым положением и углом. После вложения пластины и за-крытия окна пластина автоматически центрируется на рабочем столике и вакуумно прижимается. Все процессы происходят автоматически по заранее составленным рецептурам. Рецептура содержит время отдель-ных частей цикла, обороты столика и время его разгона и торможения.

(установка работает в ЧР для швейцарского заказчика)

СКАЧАТЬ:

PDF  31660_R13 Шкаф для струйного травления краев Si пластин