CZ   EN   RU
Foto

45250_R13 Химические боксы AWAP для смесей HF

Оборудование предназначено для травления пластин Si в произ-водстве полупроводников. Оно выполнено в виде отдельного химического бокса. Травление осуществляется химическими веществами, содержащими фтористоводородную кислоту. Используемые материалы химически устойчивы и соответствуют стандарту FM 4910 для использования в чистых помещениях. Бокс имеет две ванны и оснащен манипулятором. Цикл травления и промывки пластин Si происходит автоматически в оборудовании в соответствии с выбранной рецептурой.

(оборудование используется в Чешской Республике американским клиентом)

СКАЧАТЬ:

PDF  45250_R13 Химические боксы AWAP для смесей HF