Zařízení je sestava čtyř na sebe navazujících chemických sekcí propojených do výrobní linky. Linka umožňuje provádět automaticky komplexní chemickou proceduru na deskách křemíkového monokrystalu. Procedura se typicky skládá ze sekvencí leptání v chemických lázních a oplachů demineralizovanou vodou.
(Zařízení je používáno v Česku švýcarským zákazníkem)