Stroj je navržen jako jednoúčelové zařízení pro čisté prostory v polovodičovém průmyslu. Zajišťuje tryskové leptání, mytí a sušení okrajů křemíkových desek pro výkonové spínače. Zařízení je tvořeno dvěma komorami s řízeným prouděním vzdušniny v provedení Cleanroom. Střed čipu je nalezen automaticky, rychlost rotace nastavitelná a trysky s různými kyselinami, DI vodou a acetonem jsou polohovány pomocí servopohonů a robota. Manipulace s deskami je prováděna robotem v Cleanroom provedení. Stroj pracuje pro britského zákazníka ve Velké Británii.
FAKTA A ZAJÍMAVOSTI
> Řídící systém Simatic
> Roboty Epson v provedení Cleanroom
> Dvě procesní komory
> Leptání okrajů desek o průměrech od 19 do 155 mm
> Automatické nalezení středu uchopené desky
> Přesné umístění na chuck
> Nastavitelná rychlost rotace chucku
> Autokalibrace polohovacího systému
> Pět ramen s tryskami polohovaných servopohony v několika osách
> Jedno rameno s tryskami zcela volně polohovatelné robotem
> Řízené proudění vzdušniny v procesní komoře
> Celoplastový skelet z bílého polypropylenu
> Automatický proces „z palety do palety“
> Půdorys 2 700 × 1 480 mm, výška 2 100 mm