Chemická linka pro leptání Si desek

45690

Zařízení je chemický box k čištění a leptání desek monokrystalu křemíku v chemikálii SC-1 a kyselině fluorovodíkové HF. Obsluha zakládá koše s křemíkovými deskami o průměru 4 až 8“ do jednotlivých van. Po dosažení požadované doby leptání jsou desky manuálně přeloženy do oplachových van a následně osušeny v sušičce. Zařízení je koncipováno pro manuální obsluhu, řídící systém kontroluje pouze parametry jednotlivých lázní a sušičky.

(zařízení pracuje v Dánsku u dánského zákazníka)