Zařízené pro leptání křemíkových ingotů

26410

Zařízení je určeno k plně automatickému mytí křemíkových monokrystalů. Jeden až dva ingoty o celkové hmotnosti až 30 kg se ukládají do přepravních košů na vstupním dopravníku. Po navedení identifikačních údajů (čárového kódu) vsázky zaveze systém automaticky koše s ingoty do boxu ke zpracování ve vanách. Koše jsou v boxu překládány pomocí dvouosého manipulátoru. Po provedení operací podle stanovené receptury jsou koše přeloženy na výstupní dopravník, který prochází sušičkou (4 kW, max 80 °C) s cirkulací vzduchu. Po usušení jsou koše s ingoty vyvezeny do výstupní pozice na výstupním dopravníku.

Linka obsahuje 3 procesní vany (ultrazvuková s detegentem, se směsí HNO3+HF, s HF) z materiálu PVDF, s cirkulací, automatickým doplňováním DI-vody a chemikálií, ohřevem, chlazením. Dále 3 oplachové vany (s cirkulací, dávkováním, sprchami, měřením vodivosti a teploty, kontrolou výšky hladiny, QD ventily). Zařízení je vybaveno 30 kW průtokovým ohřívačem demi-vody. Linka je plně automatizována s možností ovládání z hlavní řídicí jednotky s grafickou vizualizací na LCD dotykovém panelu. Řídicí systém zajišťuje načítání čárových kódů vsázky, výpočet leptacích časů pomocí doprovodné Si-desky a archivaci veškerých dat.

Součástí linky je i box pro přípravu a řízení tvorby směsi. Zásobování linky směsí je plně automatické a spolupracuje s odběrným zařízením.

(zařízení pracuje v Polsku pro dánského zákazníka)