Zařízení pro leptání a mytí křemíkových desek

1525

Je prostorově úsporné zařízení pro mytí křemíkových desek. Skelet boxu je v provedení dle normy FM4910. Obsahuje leptací a oplachovou vanu, může mít jednu až tři zásobníkové pozice. Plně automatické zařízení, zajišťující manipulaci mezi procesní a oplachovou vanou a pohyby v procesní i v oplachové vaně. Je vybaveno možností nastavení a výběru technologické receptury (procesní časy, pořadí průchodu, nastavení teploty), měřením vodivosti a průtoku oplachové vody, probubláváním dusíkem a odsáváním pracovního prostoru.

(zařízení pracuje v ČR pro zákazníka z USA)